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| 東莞市聚優創新自動化科技有限公司
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| 關于滾珠絲杠在半導體制造中的具體應用 |
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| 來源：聚優創新自動化 點擊：260 時間：2025-2-7 |
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晶圓傳輸：
- 在半導體制造過程中，晶圓需要在不同的工藝步驟之間進行傳輸。滾珠絲杠用于驅動晶圓傳輸系統，確保晶圓在傳輸過程中的精確位置和速度控制。
- 滾珠絲杠的高精度和低摩擦特性使得晶圓傳輸更加平穩和準確，減少了晶圓在傳輸過程中的損傷和誤差。
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晶圓對準：
- 在半導體制造中，晶圓需要對準到特定的位置以進行后續的工藝步驟。滾珠絲杠用于驅動對準系統，確保晶圓能夠精確地對準到預定位置。
- 滾珠絲杠的高剛性和穩定性使得對準過程更加可靠和準確，提高了半導體制造的生產效率和產品質量。
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加工設備精確運動：
- 在半導體制造設備中，滾珠絲杠還用于驅動各種加工設備的精確運動，如刻蝕機、離子注入機等。
- 這些設備需要高精度的運動控制以實現精確的工藝步驟。滾珠絲杠以其高精度和低摩擦特性，滿足了這些設備對運動控制的要求。
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